RTS-8四探針測試儀參數(shù)：

測量范圍

電阻率：10^-5～10⁵Ω.cm；

方塊電阻：10^-4～10⁶Ω/□；

電阻：10^-5～10⁵Ω；

電導(dǎo)率：10^-5～10⁵s/cm；

可測晶片直徑：140mmX150mm (配S-2A型測試臺)；

               200mmX200mm (配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm (配S-2C型測試臺)；

恒流源

電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)；

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：＞1000MΩ；   

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；　　

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻: ≥1000MΩ；

機械游移率: ≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì)，探針直徑Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

見探頭附帶的合格證，合格證含三參數(shù)項：

C：探針系數(shù)； F：探針間距修正因子； S：探針平均間距；

模擬電阻測量相對誤差（按 JJG508-87 進行）

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；

整機測量大相對誤差

(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm 測試)≤±5％；

整機測量標準不確定度

≤5％；

外型尺寸（大約）

電氣主機: 460mm×320mm×100mm；

S-2A型測試臺: 190mm×140mm×260mm；

S-2B型測試臺: 300mm×210mm×400mm；

S-2C型測試臺: 500mm×400mm×350mm；

儀器重量（大約）

電氣主機: 3.5kg；

S-2A型測試臺: 2kg；

S-2B型測試臺: 2.5kg；

S-2C型測試臺: 4kg；

標準使用環(huán)境

溫度:：23±2℃；

相對濕度：≤65％；

無高頻干擾；

無強光直射；

*.注意:使用1μA量程時，允許有小于1.0nA的空載電流.在相對濕度小于50%時使用。