氣墊（自動平衡）隔振精密光學平臺安裝及使用

氣墊（自動平衡）隔振精密光學平臺以高導磁不銹鋼為臺面，臺面精磨加工，平整度、光潔度很好。隔振基礎采用二層氣囊隔離，在各個方向上都提供了優異的減振性能，減振器自身的自然振動頻率非常低。穩定輕松調節，穩定可靠結構十分緊湊。自動充氣，全部氣動執行元件，采用進口產品。靜音空氣機氣源，噪聲低，適用于振動頻率要求高的環境。

                                            結構圖

技術要求

1、臺面陣列M6螺孔

2、振幅不大于1.2μm

3、固有頻率垂直1.2Hz-2.0Hz，水平1.2Hz-2.0Hz

4、表面粗糙度小于0.8μm

5、平面度不大于0.05mm/㎡

6、不銹鋼臺面厚度不小于6mm

7、重復定位精度±0.05mm

調整和使用

1、調試前擦凈工作臺面。

2、檢查空氣壓縮機是否良好。

3、接通靜音空氣壓縮機電源（AC220V），打開電源開關進行試運轉。

• 調整調節座螺桿，并配合高度微調閥調節螺栓，使水平氣泡移至中央部位，鎖緊螺母。
• 用力下壓平臺任何一角，然后看水平儀氣泡是否恢復初始狀態。
• 工作時平臺上擱置任何物品，請小心輕放，盡量避免相對摩擦，以免損傷工作臺面，降低使用精度。
• 放置平臺上設備已安裝好后，請重新調整調節螺桿直至恢復水平。
• 長期不用本產品時，請斷開空氣壓縮機電源，拔掉電源插頭，以避免隔振氣膜產生蠕變。
• 當您的工作不需要平臺隔振時，只需斷開空氣壓縮機電源開關，打開排氣閥即可。

5、注意事項

1、請勿用酸性液體清洗本產品，以免破壞產品表面質量

2、請勿將本產品放置在高溫、潮濕及高強度振源處

3、請勿用水沖洗本產品