儀器介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本和重要的應(yīng)用之一 。自動橢圓偏振測厚儀

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